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電子束,激光鍍膜儀
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  • PLD脈沖激光濺射沉積... 該PLD脈沖激光濺射沉積設(shè)備系列設(shè)備主要用于生長光學晶體、鐵電體、鐵磁體、超導體和有機化合物薄膜材料,尤其適用于生長高熔...
  • 離子源電子束蒸發(fā)鍍膜儀 該電子束蒸發(fā)方式鍍膜儀,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其...
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  • 激光鍍膜設(shè)備 激光鍍膜設(shè)備系統(tǒng)由真空腔室(主濺射室、進樣室)、樣品傳遞機構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算...
  • 電子束蒸發(fā)鍍膜儀 電子束蒸發(fā)鍍膜儀系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、電控系統(tǒng)及安...

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